Ätztechnik für Elektronikkomponenten

Ätztechnik für Elektronikkomponenten

Im Rahmen der Halbleiterfertigung müssen die unterschiedlichsten Schichten geätzt werden, entweder zur ganzflächiger Entfernung oder auch zur Übertragung eines strukturierten Fotolackfilms in eine Schicht, die darunterliegt. Bei der dabei zur Anwendung kommenden...